Keithley 3722-MTC-3MM 多通道溫度控制器產(chǎn)品介紹

1. 產(chǎn)品概述

Keithley 3722-MTC-3MM 是 Keithley 模塊化開關(guān)/測(cè)量單元，專為 半導(dǎo)體測(cè)試、材料研究、自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)（ATE） 等應(yīng)用設(shè)計(jì)。該模塊通常與 Keithley 3700 系列開關(guān)/測(cè)量主機(jī)（如 3706A） 配合使用，提供 多通道溫度采集、監(jiān)控和閉環(huán)控制 功能，適用于 晶圓測(cè)試、熱電偶（TC）、RTD（熱電阻）測(cè)量 等精密溫度管理場(chǎng)景。

2. 主要特點(diǎn)

（1）多通道高精度測(cè)量

• 支持 多個(gè)溫度傳感器（如熱電偶、RTD、熱敏電阻） 同時(shí)接入，適用于 多點(diǎn)溫度監(jiān)測(cè)。

• 高分辨率 ADC（模數(shù)轉(zhuǎn)換器），確保 溫度測(cè)量精度可達(dá) ±0.1°C（具體取決于傳感器類型）。

（2）靈活的配置與控制

• 模塊化設(shè)計(jì)，可安裝在 Keithley 3700 系列主機(jī)中，支持 多模塊擴(kuò)展（如 3722-MTC-3MM 可能表示 3 個(gè)模塊化通道）。

• 提供 PID（比例-積分-微分）控制算法，實(shí)現(xiàn) 精確的閉環(huán)溫度調(diào)節(jié)，適用于恒溫實(shí)驗(yàn)或動(dòng)態(tài)溫變測(cè)試。

（3）自動(dòng)化測(cè)試集成

• 兼容 LabVIEW、Python、Test Script Processor (TSP®)，便于集成到 自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)（ATE） 中。

• 支持 SCPI 命令，可通過 GPIB、LAN、USB 遠(yuǎn)程控制，適用于 無人值守測(cè)試環(huán)境。

（4）高可靠性與穩(wěn)定性

• 采用 低噪聲電路設(shè)計(jì)，減少測(cè)量干擾，確保 長期穩(wěn)定性。

• 具備 過溫保護(hù)、傳感器斷線檢測(cè) 等安全功能，防止設(shè)備損壞。

3. 典型應(yīng)用場(chǎng)景

（1）半導(dǎo)體測(cè)試

• 晶圓級(jí)溫度測(cè)試：監(jiān)控 IC 封裝過程中的溫度分布，確保良率。

• 功率器件熱阻分析：配合 Keithley 源表（如 2450/2460）進(jìn)行 動(dòng)態(tài)溫度-電性能聯(lián)合測(cè)試。

（2）材料研究與可靠性測(cè)試

• 高溫/低溫循環(huán)測(cè)試（如 -40°C ~ 150°C），評(píng)估材料的熱穩(wěn)定性。

• 熱電偶校準(zhǔn)：提供高精度參考溫度源，用于傳感器標(biāo)定。

（3）工業(yè)自動(dòng)化與過程控制

• PLC 系統(tǒng)集成：用于 工業(yè)爐溫控、環(huán)境試驗(yàn)箱 等場(chǎng)景。

• 電池測(cè)試：監(jiān)測(cè)充放電過程中的溫度變化，防止熱失控。

4. 技術(shù)規(guī)格（參考）

5. 配套設(shè)備與軟件

• 主機(jī)兼容性：需搭配 Keithley 3706A 或類似主機(jī) 使用。

• 軟件支持：

• Keithley KickStart：快速配置和數(shù)據(jù)采集。

• LabVIEW 驅(qū)動(dòng)：適用于自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)開發(fā)。

• TSP® 腳本：支持復(fù)雜測(cè)試流程編程。

6. 總結(jié)

Keithley 3722-MTC-3MM 是一款 Keithley 模塊化開關(guān)/測(cè)量單元，適用于 半導(dǎo)體、科研、工業(yè) 等領(lǐng)域的高精度溫控需求。其 多通道設(shè)計(jì)、高精度測(cè)量、自動(dòng)化集成能力 使其成為 可靠性測(cè)試與過程控制 的理想選擇。如需更詳細(xì)的規(guī)格或應(yīng)用案例，建議聯(lián)系 Keysight（是德科技，現(xiàn)為 Keithley 母公司） 或授權(quán)代理商獲取技術(shù)文檔。

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